應(yīng)用范圍：

　　掃描電子顯微鏡是一種多功能的儀器，具有很多*的性能，是用途最為廣泛的一種儀器，它可以進(jìn)行如下基本分析：

　　(1)三維形貌的觀察和分析；

　　(2)在觀察形貌的同時，進(jìn)行微區(qū)的成分分析。

　?、儆^察納米材料。所謂納米材料就是指組成材料的顆粒或微晶尺寸在0.1～100 nm范圍內(nèi)，在保持表面潔凈的條件下加壓成型而得到的固體材料。納米材料具有許多與晶態(tài)、非晶態(tài)不同的、*的物理化學(xué)性質(zhì)。納米材料有著廣闊的發(fā)展前景，將成為未來材料研究的重點(diǎn)方向。掃描電子顯微鏡的一個重要特點(diǎn)就是具有很高的分辨率，現(xiàn)已廣泛用于觀察納米材料。

　?、谶M(jìn)行材料斷口的分析。掃描電子顯微鏡的另一個重要特點(diǎn)是景深大，圖象富有立體感。掃描電子顯微鏡的焦深比透射電子顯微鏡大10倍，比光學(xué)顯微鏡大幾百倍。由于圖象景深大，故所得掃描電子象富有立體感，具有三維形態(tài)，能夠提供比其他顯微鏡多得多的信息，這個特點(diǎn)對使用者很有價值。掃描電子顯微鏡所顯示的斷口形貌從深層次、高景深的角度呈現(xiàn)材料斷裂的本質(zhì)，在教學(xué)、科研和生產(chǎn)中，有不可替代的作用，在材料斷裂原因的分析、事故原因的分析以及工藝合理性的判定等方面是一個強(qiáng)有力的手段。

　?、壑苯佑^察大試樣的原始表面。它能夠直接觀察直徑100 mm，高50 mm，或更大尺寸的試樣，對試樣的形狀沒有任何限制，粗糙的表面也能觀察，這便免除了制備樣品的麻煩，而且能真實(shí)觀察試樣本身物質(zhì)成分不同的襯度（背反射電子象）。

　?、苡^察厚試樣。其在觀察厚試樣時，能得到高的分辨率和最真實(shí)的形貌。掃描電子顯微的分辨率介于光學(xué)顯微鏡和透射電子顯微鏡之間。但在對厚塊試樣的觀察進(jìn)行比較時，因?yàn)樵谕干潆娮语@微鏡中還要采用復(fù)膜方法，而復(fù)膜的分辨率通常只能達(dá)到10 nm，且觀察的不是試樣本身，因此，用掃描電子顯微鏡觀察厚塊試樣更有利，更能得到真實(shí)的試樣表面資料。

　　⑤觀察試樣的各個區(qū)域的細(xì)節(jié)。試樣在樣品室中可動的范圍非常大。其他方式顯微鏡的工作距離通常只有2～3cm，故實(shí)際上只許可試樣在兩度空間內(nèi)運(yùn)動。但在掃描電子顯微鏡中則不同，由于工作距離大（可大于20 mm），焦深大（比透射電子顯微鏡大10倍），樣品室的空間也大，因此，可以讓試樣在三度空間內(nèi)有6個自由度運(yùn)動（即三度空間平移，三度空間旋轉(zhuǎn)），且可動范圍大，這對觀察不規(guī)則形狀試樣的各個區(qū)域細(xì)節(jié)帶來極大的方便。

　　⑥在大視場、低放大倍數(shù)下觀察樣品。用掃描電子顯微鏡觀察試樣的視場大。在掃描電子顯微鏡中，能同時觀察試樣的視場范圍F由下式來確定：F=L/M式中F——視場范圍；M——觀察時的放大倍數(shù)；L——顯象管的熒光屏尺寸。

　　若掃描電鏡采用的顯象管，放大倍數(shù)15倍時，其視場范圍可達(dá)20 mm。大視場、低倍數(shù)觀察樣品的形貌對有些領(lǐng)域是很必要的，如刑事偵察和考古。

　　⑦進(jìn)行從高倍到低倍的連續(xù)觀察。放大倍數(shù)的可變范圍很寬，且不用經(jīng)常對焦。掃描電子顯微鏡的放大倍數(shù)范圍很寬（從5到20萬倍連續(xù)可調(diào)），且一次聚焦好后即可從高倍到低倍，從低倍到高倍連續(xù)觀察，不用重新聚焦，這對進(jìn)行事故分析特別方便。

　?、嘤^察生物試樣。因電子照射而發(fā)生試樣的損傷和污染程度很小。同其他方式的電子顯微鏡比較，因?yàn)橛^察時所用的電子探針電流?。ㄒ话慵s為10- 10～10- 12A）電子探針的束斑尺寸?。ㄍǔＪ? nm到幾十納米），電子探針的能量也比較小（加速電壓可以小到2 kV），而且不是固定一點(diǎn)照射試樣，而是以光柵狀掃描方式照射試樣，因此，由于電子照射而發(fā)生試樣的損傷和污染程度很小，這一點(diǎn)對觀察一些生物試樣特別重要。

　?、徇M(jìn)行動態(tài)觀察。在掃描電子顯微鏡中，成象的信息主要是電子信息。根據(jù)近代的電子工業(yè)技術(shù)水平，即使高速變化的電子信息，也能毫不困難的及時接收、處理和儲存，故可進(jìn)行一些動態(tài)過程的觀察。如果在樣品室內(nèi)裝有加熱、冷卻、彎曲、拉伸和離子刻蝕等附件，則可以通過電視裝置，觀察相變、斷裂等動態(tài)的變化過程。

　　10、從試樣表面形貌獲得多方面資料。在掃描電子顯微鏡中，不僅可以利用入射電子和試樣相互作用產(chǎn)生各種信息來成象，而且可以通過信號處理方法，獲得多種圖象的特殊顯示方法，還可以從試樣的表面形貌獲得多方面資料。因?yàn)閽呙桦娮酉蟛皇峭瑫r記錄的，它是分解為近百萬個逐次依此記錄構(gòu)成的，因而使得掃描電子顯微鏡除了觀察表面形貌外，還能進(jìn)行成分和元素的分析，以及通過電子通道花樣進(jìn)行結(jié)晶學(xué)分析，選區(qū)尺寸可以從10μm到2μm。

　　由于掃描電子顯微鏡具有上述特點(diǎn)和功能，所以越來越受到科研人員的重視，用途日益廣泛。